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Ni-CrSiN涂层的微观结构及其海水中的耐腐蚀性研究

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本文针对CrSiN薄膜，提出掺Ni改性以提高其在海水中耐腐蚀性能。采用非平衡磁控溅射技术，通过改变NiCr合金靶电流（0.4-2.4 A），在海工装备常用材料Ti6Al4V上沉积不同Ni含量的Ni-CrSiN复合薄膜。通过扫描电镜（SEM）观察薄膜的形貌，通过X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）表征薄膜成分结构，采用电化学工作站研究Ni-CrSiN复合薄膜在海水中的耐腐蚀性能。结果表明，Ni元素的掺杂，使薄膜表明颗粒尺寸明显减小，晶粒结构更均匀致密。沉积时，薄膜中Ni元素含量随NiCr合金靶电流的增大而增大。Ni以非晶态形式存在于薄膜中。一定含量的Ni元素掺杂能有效改进CrSiN薄膜的耐腐蚀性能。