摘要详情
  1. 活动首页
  2. 摘要清单
  3. 摘要详情
110 / 2019-09-30 16:08:50
基于ZnO/SiC多层结构高频声表面波器件及性能提升
ZnO,SiC,声表面波,高频
全体主题 > 薄膜设计、仿真与模拟
全文待审
傅肃磊 / 清华大学
飞曾 / 清华大学
王为标 / 无锡市好达电子有限公司
峰潘 / 清华大学
本文采用磁控溅射方法在高声速6H-SiC基片上生长高质量的ZnO压电薄膜，制备一系列频率高达4GHz以上的声表面波单端谐振器，通过模拟和实验系统地研究ZnO/SiC多层结构上的声表面波传播特性。另外，采用V作为掺杂元素对ZnO薄膜进行掺杂改性，通过调控ZnO压电薄膜性能，实现了ZnO/SiC多层结构声表面波滤波器的性能提升。
重要日期

  • 会议日期

    11月15日

    2019

    至

    11月18日

    2019

  • 11月01日 2019

    初稿截稿日期

  • 11月18日 2019

    注册截止日期

承办单位
浙江大学
联系方式
登录查看完整联系方式
历届会议
移动端
在手机上打开
小程序
打开微信小程序
客服
扫码或点此咨询