高熵合金（High-entropy alloy，HEA）是一种多主元近等摩尔比合金，具有高熵效应、晶格畸变效应、迟缓扩散效应和鸡尾酒效应等四大核心效应，以热稳定性高、机械强度和耐腐蚀能力良好等特点，被广泛应用于航空航天、交通运输、电子器件和生物医疗等领域。高熵合金薄膜在具有块体合金优异性能的同时，因其尺寸较小限制了晶粒长大的空间，促进了纳米晶的生成，使其力学性能优于同组分的块体高熵合金。

本研究基于高熵合金相形成原理，设计了具有耐高温和抗腐蚀潜力的AlCrTiVMo高熵合金薄膜，其中，Al、Cr元素具有形成致密钝化膜的能力，Ti、V、Mo元素能够提供固溶强化作用。通过软件计算了多种相形成判据，并用分类法预测了合金结构，结果表明其具有较强的固溶相形成能力，以及形成体心立方(BCC)晶格的趋势。使用准随机结构(SQS)模拟了高熵合金的随机晶胞，并采用第一性原理软件（Vasp）计算了该合金的晶格常数、能带结构和力学常数，结果表明：该合金具有稳定的电子结构，以及较高的弹性模量，是一种具有潜力的薄膜材料。