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利用微米划痕表征涂层的力学及摩擦学性能

    利用各种形状的压头（比如三棱锥Berkovich，四棱锥Vickers，尖端带有圆角半径的圆锥Rockwell C，圆球压头等）对各类涂层（比如：Pb-Ti/MoS2涂层，包括MoS₂，Ti-MoS₂和Pb-Ti-MoS₂等；类金刚石薄膜：包括含Cr过渡层的纯DLC薄膜、氢化DLC薄膜、Si或Cr掺杂的DLC薄膜）在渐进载荷下进行了微米划痕测试，研究了涂层随载荷的增加经历的薄膜变形、薄膜与基体共同变形和薄膜剥离等各个阶段变形和失效机理，通过对压入深度、残余深度、弹性回复率、临界剥离力、划痕硬度、摩擦系数等划痕测试量的分析，并结合划痕形貌，尤其是划痕边缘的裂纹情况，揭示了掺杂元素对于涂层抗划擦性能和膜基结合力的影响。同时，基于划痕方法表征了涂层的断裂韧度，并比较了不同的分析方法。