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一种高精度机械磨粒检测传感器

摘 要: 当机械系统发生磨损时，会产生大量金属磨粒，缩短系统使用寿命，本文设计了一种基于微流体芯片的电感式高精度机械磨粒检测传感器。该传感器由平面电感线圈和紧密贴合的坡莫合金组成，4块坡莫合金以90°夹角阵列排布在线圈一侧，能够聚集检测区域的磁场，从而提升检测灵敏度。该传感器选用多层线圈叠加的方式增加了检测区域，提升检测效率；相较于传统单线圈的电感检测，具有较高的检测精度，信噪比增加了6倍；可以区分检测油液中大于30μm的铁颗粒和大于100μm的铜颗粒。该研究为机械系统磨损故障的早期预防和诊断提供理论依据和技术支持，对于延长机械系统使用寿命具有重要的意义。

关键词: 金属磨粒；微流体芯片；坡莫合金；故障诊断