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CrMoSiCN/Ag涂层的结构及在空气和水中的摩擦学性能

摘要：使用闭场非平衡磁控溅射，通过调整Ag靶电流，在钛合金上沉积了具有不同Ag含量(0.21 at.%~3.92 at.%)的CrMoSiCN/Ag涂层。涂层中包含(Cr, Mo)N固溶体，Ag纳米晶体和非晶Si-C-N。随着Ag靶电流的增加，涂层表面形态由细化的晶粒转变为团聚的Ag颗粒，表面粗糙度进而增加。CrMoSiCN/Ag涂层的硬度先升高至20.7 GPa后降低到17.8 GPa，而水接触角逐渐减小。当Ag靶电流为0.4 A时，涂层在空气和水中的摩擦系数和磨损率最低。高Ag含量CrMoSiCN/Ag涂层的减磨机理为在空气中形成的Ag, MoO₃和Ag₂MoO₄摩擦层以及在水中的水合氧化物。