随着航空发动机向大推重比、高可靠性、低耗油率、低成本等方向的发展，其主轴上关键运动部件（如轴承、铰链和齿轮等）面临着变载、变速、断油等复杂恶劣的工况，在运转过程中，其零部件之间的接触表面极易被破坏，从而导致运动部件发生失效。采用表面改性技术在接触表面制备硬质耐磨的固体润滑涂层，并与具有优良润滑性能的液体润滑剂构成固液复合润滑体系，以期达到延长航空发动机运动部件的使役寿命。采用磁控溅射技术，研究制备工艺参数（氮气流量以及基体偏压）对涂层微观结构、力学性能以及摩擦学性能的影响。所制备出的涂层呈现出柱状结构特征，随着氮气流量的增加，涂层致密度先增加后降低，结合力呈先增加后降低的趋势；当氮气流量为38 sccm时，制备出的涂层结构较为致密，结合力最优，且相比于未涂层基体，其在4050#航空润滑油中的磨损率降低了约一个数量级。然而，随着氮气流量的进一步增加，涂层的力学性能与摩擦学性能均变差。通过提高制备涂层的基体偏压，涂层的微观结构更加致密，硬度逐渐增大，其耐磨性能得到进一步提高。

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