腐蚀会造成大量金属材料的损失和资源的浪费。因为具有优异的钝化膜形成能力，不锈钢和钛合金等材料的发明改善了这个问题。然而，当这些材料被设计为运动部件并在海水环境中使用时，钝化膜很容易被破坏，在摩擦和腐蚀的协同作用下进一步加速腐蚀，造成材料的损坏加剧。而表面涂层技术的应用可以同时改善机械零件的腐蚀和摩擦性能。采用气相沉积法制备的高熵合金薄膜（HEFs）不仅表现出与块体高熵合金（HEAs）相似的优异性能，而且由于尺寸效应，在某些性能上甚至优于它们。成为研究热点。在这项工作中，(CrNbTiAlVMo)xN1-x涂层通过使用非平衡磁控溅射系统在 316L不锈钢上进行沉积。研究了涂层的结构、力学和摩擦腐蚀性能。结果表明，所有涂层均表现出单一的FCC结构，并呈现出典型的柱状结构。随着Mo含量的增加，涂层表面粒径逐渐变粗，涂层取向由（111）向（200）变化。所有涂层都显示出优异的机械性能。最大硬度达到44.3 GPa，相应的弹性模量为405 GPa。摩擦腐蚀试验结果表明，涂​​层在3.5% NaCl溶液中的摩擦腐蚀性能优于316L不锈钢。 Mo含量为8%的涂层具有最低的静态电流密度（7.49´10^-9 A/cm²）和动态电流密度（9.33´10^-8 A/cm²）。腐蚀会造成大量金属材料的损失和资源的浪费。因为具有优异的钝化膜形成能力，不锈钢和钛合金等材料的发明改善了这个问题。然而，当这些材料被设计为运动部件并在海水环境中使用时，钝化膜很容易被破坏，在摩擦和腐蚀的协同作用下进一步加速腐蚀，造成材料的损坏加剧。而表面涂层技术的应用可以同时改善机械零件的腐蚀和摩擦性能。采用气相沉积法制备的高熵合金薄膜（HEFs）不仅表现出与块体高熵合金（HEAs）相似的优异性能，而且由于尺寸效应，在某些性能上甚至优于它们。成为研究热点。在这项工作中，(CrNbTiAlVMo)xN1-x涂层通过使用非平衡磁控溅射系统在 316L不锈钢上进行沉积。研究了涂层的结构、力学和摩擦腐蚀性能。结果表明，所有涂层均表现出单一的FCC结构，并呈现出典型的柱状结构。随着Mo含量的增加，涂层表面粒径逐渐变粗，涂层取向由（111）向（200）变化。所有涂层都显示出优异的机械性能。最大硬度达到44.3 GPa，相应的弹性模量为405 GPa。摩擦腐蚀试验结果表明，涂​​层在3.5% NaCl溶液中的摩擦腐蚀性能优于316L不锈钢。 Mo含量为8%的涂层具有最低的静态电流密度（7.49´10^-9 A/cm²）和动态电流密度（9.33´10^-8 A/cm²）。

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