156 / 2021-04-04 22:05:15

掺硅DLC过渡层工艺参数对DLC结合力的影响

DLC 掺硅过渡层 划痕失效分析

增强DLC与基体之间的结合力是在当前DLC研究中一直是个难题，这一缺点也限制了DLC涂层在工业应用中的广泛应用。本文中，研究了层间工艺参数、不同金属合金对DLC结合性能的影响。利用离子束沉积技术在DLC与各种金属衬底之间引入了Si-DLC中间层，通过改变TMS/C7H8的气体流量比，制备了具有不同中间掺硅DLC过渡层的DLC薄膜。采用纳米压痕法和纳米划痕法对薄膜的力学性能和附着力进行了评价；利用x射线光电子能谱(XPS)和拉曼光谱对薄膜的组成和微观结构进行了分析；用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜 (HRTEM)对其微观结构进行了评价。界面中间层的气体流量比对DLC膜的粘附性有很大的影响。在Si-DLC和DLC的界面处，选择1:1的TMS/C7H8气体流量比表现出最大的附着力。