二氧化碳还原在环保、能源和化工等领域具有重要意义，也是二氧化碳利用最具潜力的研究方向之一，但二氧化碳还原反应中催化剂活性低、选择性差和稳定性低是需要面对的问题。
        原子层沉积技术具有薄膜成分可控以及可在复杂三维基底材料保形性沉积等优点，非常适合在多孔基底上制备高性能的催化剂材料。我们利用流化床式等离子体辅助原子层沉积的方法，以脒基铜Cu(AMD)和六氟乙酰丙酮钯作为铜、钯前驱体，在氢等离子体中制备了Pd/Al₂O₃、Cu/ Al₂O₃、Pd-Cu/ Al₂O₃等催化材料。利用XRD、HR-TEM、XPS、BET、H₂-TPR 等测试方法对以上制备的催化剂进行分析表征，结合CO₂ 加氢性能评价，研究催化剂的结构和催化效果之间的关系。通过研究放电功率、氢气与二氧化碳的摩尔比和空速对二氧化碳催化加氢反应的催化性能影响，得到最优反应条件为：在常压室温条件下，空速为7595 h^-1，氢气和二氧化碳比例为4:1，电源功率为24.6 W时，二氧化碳的转化率为38%，其中CO、CH₄和CH₃OH 烃的选择性分别为80.5%、6.7%和12.8%。

原子层沉积,低温等离子体,钯铜催化剂