尽管软火花现象早已为人们所熟知，但迄今为止，对软火花放电机制仍缺乏精确且系统的阐释。为了探究阳极软火花的个体与集体放电行为随时间的演化规律，对6061铝合金进行了持续9000s的微弧氧化（MAO）处理。结果表明，阳极软火花放电的放电强度和分布状态随氧化时间逐渐演变。3600s后，大部分软火花开始聚集，并以集群的方式在阳极表面快速移动，进入集群软火花阶段。当阳极等离子体放电状态由微弧转变为软火花后，后续陶瓷层的增厚主要集中于致密内层；且该内层位于微弧放电陶瓷层下边界之下（将前期微弧放电阶段制备的陶瓷层称之为微弧放电陶瓷层），即软火花放电处理使阳极陶瓷层转变为完全地向膜/基界面方向生长的内生长模式。同时，膜/基界面处新增涂层致密无孔且主要成分为Al₂O₃，构成了陶瓷层的致密内层。随氧化处理时间的延长，陶瓷层多孔外层增厚缓慢，甚至停止增厚；而致密内层生长速度显著加快，其厚度在一定时间后超过多孔外层，最高可达80μm以上。6300s后，集群软火花转化为强电弧，导致内层致密性受到严重破坏。因此，在微弧氧化过程中，为确保陶瓷涂层的致密性，需要合理调控氧化时间以抑制电弧放电的发生。
 

软火花；演变特征；双层结构；氧化铝复合涂层