Cr2AlC MAX 相陶瓷是一类非常有前途的高温结构材料，具有典型的层状结构，有望解决极端环境下关键运动部件的宽温范围润滑和磨损问题。本研究采用磁控溅射技术制备了非晶态 Cr-Al-C 薄膜，并在随后的真空退火处理中形成了高纯度 Cr2AlC MAX 相。通过扫描电子显微镜、X 射线衍射和 cs 校正透射电子显微镜研究了退火前后薄膜的表面形貌、相组成和微观结构变化，并详细讨论了微观结构演变对薄膜机械性能和高温摩擦学性能的影响。结果表明，在 700 ℃ 退火后，Cr-Al-C 薄膜的硬度提高了 36.3%，薄膜的韧性也显著提高，薄膜在 400 ℃ 至 800 ℃ 的宽温度范围内具有良好的摩擦学性能，这主要与薄膜磨损痕迹表面形成富含铬和铝的氧化釉层有关。这项研究不仅为制备高纯度 Cr2AlC MAX 相提供了一种可行的策略，而且为制备具有高热稳定性和高韧性的新型 MAX 相材料提供了一种新思路。

Cr2AlC； 微观结构演化；坚韧化；宽温域润滑