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多频激励MEMS电场传感器动态性能表征
编号：22
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更新：2025-08-11 15:27:19 浏览：7次
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报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
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摘要
微机电系统（Micro-electro-mechanical Systems, MEMS）电场传感器具有体积小、重量轻、功耗低、易集成、可批量化制备等多种等优势，在航空、航天、国防、静电、雷电及石油石化等领域具有重要应用价值。传统谐振式电场敏感结构在单一模态上产生谐振，聚焦于单频激励模式下的性能表征。本文突破传统方法，提出了采用双频混叠激励信号驱动方法，研究在混频条件下传感器的动态响应特性。实验表明，在± 29.4 kV/m电场范围内，传感器线性度为1%，三阶模态灵敏度为0.054 mV/(kV/m)，分辨力为6.67 V/m·√Hz
，幅频特性曲线峰值较单频激励提升了43%。
，幅频特性曲线峰值较单频激励提升了43%。关键词
微机电系统；电场传感器；谐振器；谐振模态；动态性能
报告人
暂无
稿件作者
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重要日期
-
会议日期
09月19日
2025
至09月22日
2025
-
08月20日 2025
初稿截稿日期
主办单位
中国物理学会静电专业委员会
承办单位
南京信息工程大学
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
联系方式
- 范文晓
- fa******@nuist.edu.cn
- 187********
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