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双端固支梁谐振式高灵敏MEMS电场传感器
编号：4
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更新：2025-08-11 15:16:17 浏览：54次
口头报告
报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
报告时间：暂无持续时间
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摘要
MEMS电场传感器具有微型化、低功耗等优势，在大气电场测量、工业静电监测及航空航天等领域应用前景广阔。本文提出了一种基于双端固支梁谐振器的新型MEMS电场传感器。通过建立理论模型，分析了电场引起的谐振频移特性。通过有限元仿真与实验测试，揭示了其工作机制，验证了模型准确性。实验表明，该传感器的电场测量灵敏度为0.211 √Hz/(V/m)，分辨率为3.36 V/m。本研究为开发高灵敏度、高分辨率的新型MEMS电场传感器提供了新思路。
关键词
微机电系统；电场传感器；双端固支梁；灵敏度；谐振频移
报告人
李维洋
研究生 北京科技大学稿件作者
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重要日期
-
会议日期
09月19日
2025
至09月22日
2025
-
08月20日 2025
初稿截稿日期
主办单位
中国物理学会静电专业委员会
承办单位
南京信息工程大学
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
联系方式
- 范文晓
- fa******@nuist.edu.cn
- 187********
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