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气体氛围诱导的表面层生成对硅针放电模态转变的影响
编号：64
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更新：2025-08-11 15:41:38 浏览：31次
口头报告
报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
报告时间：暂无持续时间
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摘要
随着半导体电子器件日益向小型化、轻薄化发展，对于其表面的静电水平控制愈发严苛，采用环保型硅针离子发生器可有效降低器件损伤风险，但其离子生成的稳定性至关重要。本文构建了硅针-板电极放电实验平台，研究不同气体氛围下硅针放电模态的演变规律。研究结果表明，硅针在空气中放电依次经历特里切尔脉冲，锯齿状脉冲，巨幅脉冲和辉光放电四个典型阶段；氮气氛围中未出现辉光放电阶段，在针板击穿前呈现流注放电；而在氩气氛围中没有观测到巨幅脉冲。巨幅脉冲是空气与氮气中放电的特有现象，其电流幅值远超相邻的小脉冲四倍以上，其产生的核心机制在于硅针表面绝缘层的击穿。空气放电硅针表面形成氧化层，氮气放电后形成氮化层，在空间电荷畸变的强电场作用下，绝缘薄层击穿后会导致针尖的电场增大，进而极大促进气体分子电离与雪崩过程，瞬间产生大量电子和离子，形成巨幅电流脉冲。
关键词
硅针,放电模态,气体氛围,表面元素
报告人
王彦懿
无 西安交通大学稿件作者
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重要日期
-
会议日期
09月19日
2025
至09月22日
2025
-
08月20日 2025
初稿截稿日期
主办单位
中国物理学会静电专业委员会
承办单位
南京信息工程大学
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
联系方式
- 范文晓
- fa******@nuist.edu.cn
- 187********
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