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一种基于高精度可控电源的高速切换静电吸附技术
编号：72
访问权限：仅限参会人
更新：2025-08-12 14:56:08 浏览：103次
口头报告
报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
报告时间：暂无持续时间
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摘要
随着半导体行业的飞速发展，在半导体工艺中静电吸取硅片已经逐渐替代了早期的机械夹持方式。本文主要介绍一种基于PID控制的高精度高压静电吸盘。该静电洗盘具备高电压精度（波动控制在 0.1% 以内）和快速响应能力，通过精确调控输出电压，实现静电吸盘吸附力的稳定与精准控制。结合智能反馈系统与PID反馈闭环调节，该静电吸盘可在毫秒级时间内完成吸附与释放操作，有效解决传统吸盘响应迟缓、吸附力不稳定的问题。在半导体制造、精密加工等应用中显著提高生产效率与加工质量。同时，通过优化电源的抗干扰设计与多物理场协同控制，该静电吸盘在复杂工况下仍能保持可靠运行，为工业自动化的高精度作业提供了创新解决方案，具有广阔的市场应用潜力。
关键词
静电吸盘；PID反馈调节；高速切换；智能反馈
报告人
孙尉翔
工程师 无锡研平电子科技有限公司稿件作者
全部评论
重要日期
-
会议日期
09月19日
2025
至09月22日
2025
-
08月20日 2025
初稿截稿日期
主办单位
中国物理学会静电专业委员会
承办单位
南京信息工程大学
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
电磁环境效应国家级重点实验室
无锡研平电子科技有限公司
联系方式
- 范文晓
- fa******@nuist.edu.cn
- 187********
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