GaN薄膜的绿色制备及其光电性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
梁 琦  北京工业大学
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GaN纳米线紫外探测薄膜制备及其光电性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
张 京阳  北京工业大学
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一步法氮化制备高效析氢电极NixN/NF(X=3,4)
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
马 冠水  中国科学院宁波技术材料与工程研究所
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等离子体辅助原子层沉积氮化锰薄膜研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
陈 森  北京印刷学院
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溅射功率对LiCoO2薄膜结构及性能的影响研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
孙 闯  大连理工大学
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PECVD中影响成膜质量的关键因素分析
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
孙 嘉琦  东北大学
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可调制波形双极性高功率脉冲磁控溅射聚酰亚胺-金属薄膜的机械性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
田 钦文  哈尔滨工业大学(深圳)
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HiPIMS沉积微深孔内壁三维结构厚度及膜层结构研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
柏 贺达  哈尔滨工业大学（深圳）
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不同脉冲电压对管内沉积类金刚石薄膜性能的影响
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
靳 朋礼  哈尔滨工业大学
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耦合掺杂量子级联探测器的高响应性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
陈 杰  中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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